新柯隆镀膜机配置概览
1, 蒸发源:
电子枪:JEOL(稳定,价格贵,扫描光斑为方形)
(电压:6KV,10KV;电源:6KW,10KW;电子枪:270 度,180 度;扫描控制器可选)
PLSAMATEC(整流二极管易坏,扫描光斑为圆形)
ORIGIN(便宜,简单稳定,只有单枪 180 度一种型号)
阻蒸:新柯隆自制(6KW 单坩埚,10KW 双坩埚)卤素灯阻蒸(只用于蒸发防水膜)
离子源:新柯隆自制
NIS-120 型:口径 120mm,最高电压 1000V,电流 550A,阴极为钨丝
NIS-175 型:口径 175mm,最高电压 1200V,电流 1200A,空心阴极
霍尔源,仅在 VISION-1500 型上使用。离子源给气:HORIBA 质量流量计
2, 必赢手机登录机构:
低必赢手机登录泵:EDWARDS E2W275油泵配EH1200罗茨泵(也有用GV160干泵替换E2W275
油泵的)(泵油每三个月更换一次,)
樫山 MU1203 型干泵(感觉比 EDWORDS 易发生故障)
高必赢手机登录泵:新柯隆自制油扩散泵(使用 LION-S 油,因为无温度监控,故不建议替换成其他品牌油)(油每六个月更换一次,泵没 1 年维护一次)
爱发科低温泵
EDWORDS、岛津、大阪必赢手机登录的分子泵
冷冻机:POLYCOLD、MAXCOOL、TELMARK
必赢手机登录计:佳能爱内华电离必赢手机登录计,SMC 皮拉尼必赢手机登录计
APC 自动压力控制:PCU-2100,INFICON VGC-401 潘宁必赢手机登录计
新柯隆自制主阀及低阀,辅助阀(气缸为 SMC 特制品)(密封圈每年更换一次)
开度可调慢抽气、慢泄气阀(SMC 特制品,专供新柯隆)
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3, 动作机构:
补正板机构:新柯隆自制(密封圈每年更换一次,速度每年检查一次)
伞架旋转机构:新柯隆自制(磁流体密封约 5 年更换一次)
坩埚盘旋转机构:新柯隆自制(点状坩埚及环形坩埚)
蒸发源挡板机构:新柯隆自制(挡板位置和速度每年检查一次)
4, 加热机构:
加热丝加热:墙壁加热,镀膜伞加热,光控加热(温度探头固定需每年检查一次)
卤素灯加热:主要用于镀膜伞加热,最高不到 85 度。(卤素灯为耗材)
5, 膜厚控制单元:
水晶控制器:INFICON XTC-3(S)(水晶旋转每年检查一次)
光控:系统为新柯隆 SDC 系统(OPM-Z1) 分为投光器电源,投光器,光纤,监控玻璃,受光器,OPM-Z1,PC-2 电脑几个部
分。由于连接使用的是 RS-232 接口,不支持热插拔,任何连接或者动作后,请重启 OPM-Z1 和 PC-2。