新柯隆镀膜机配置概览
1， 蒸发源：
电子枪：JEOL(稳定，价格贵，扫描光斑为方形）
(电压：6KV,10KV;电源：6KW,10KW;电子枪：270 度,180 度；扫描控制器可选）
PLSAMATEC（整流二极管易坏，扫描光斑为圆形）
ORIGIN（便宜，简单稳定，只有单枪 180 度一种型号）
阻蒸：新柯隆自制（6KW 单坩埚，10KW 双坩埚）卤素灯阻蒸（只用于蒸发防水膜）
离子源：新柯隆自制
NIS-120 型:口径 120mm，最高电压 1000V，电流 550A，阴极为钨丝
NIS-175 型:口径 175mm，最高电压 1200V，电流 1200A，空心阴极
霍尔源，仅在 VISION-1500 型上使用。离子源给气：HORIBA 质量流量计
2， 必赢手机登录机构：
低必赢手机登录泵：EDWARDS E2W275油泵配EH1200罗茨泵（也有用GV160干泵替换E2W275
油泵的）（泵油每三个月更换一次，）
樫山 MU1203 型干泵（感觉比 EDWORDS 易发生故障）
高必赢手机登录泵：新柯隆自制油扩散泵（使用 LION-S 油，因为无温度监控，故不建议替换成其他品牌油）（油每六个月更换一次，泵没 1 年维护一次）
爱发科低温泵
EDWORDS、岛津、大阪必赢手机登录的分子泵
冷冻机：POLYCOLD、MAXCOOL、TELMARK
必赢手机登录计：佳能爱内华电离必赢手机登录计，SMC 皮拉尼必赢手机登录计
APC 自动压力控制：PCU-2100,INFICON VGC-401 潘宁必赢手机登录计
新柯隆自制主阀及低阀，辅助阀（气缸为 SMC 特制品）(密封圈每年更换一次)
开度可调慢抽气、慢泄气阀（SMC 特制品，专供新柯隆）
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3， 动作机构：
补正板机构：新柯隆自制（密封圈每年更换一次，速度每年检查一次）
伞架旋转机构：新柯隆自制（磁流体密封约 5 年更换一次）
坩埚盘旋转机构：新柯隆自制(点状坩埚及环形坩埚)
蒸发源挡板机构：新柯隆自制（挡板位置和速度每年检查一次）
4， 加热机构：
加热丝加热：墙壁加热，镀膜伞加热，光控加热（温度探头固定需每年检查一次）
卤素灯加热：主要用于镀膜伞加热，最高不到 85 度。（卤素灯为耗材）
5， 膜厚控制单元：
水晶控制器：INFICON XTC-3(S)(水晶旋转每年检查一次)
光控：系统为新柯隆 SDC 系统（OPM-Z1） 分为投光器电源，投光器，光纤，监控玻璃，受光器，OPM-Z1，PC-2 电脑几个部
分。由于连接使用的是 RS-232 接口，不支持热插拔，任何连接或者动作后，请重启 OPM-Z1 和 PC-2。
发表于 2017-10-28 11:00:59
